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“王姐看来下了不少功夫啊,我也是这个意思,咱们引进5英寸的生产线就是建立在江城有5英寸生产线的底子上,所以刘明元教授的提议我是支持的,具体方案王姐你定一下就好。”赵小匠道。
说起来江城也是国内集成电路公司发展的中心,90年代相继兴建了国内第一条5英寸,6英寸,8英寸的生产线,诞生了国内最知道的芯片公司夏虹,夏芯。
“匠哥,莫非你这次去计量院就是解决光刻机的问题?”王曦反应了过来。
“对了,如果咱们要实现200纳米的光刻机生产,第一要克服33%法则,即光刻机的套刻精度要达到66纳米,这一点即便咱们之前开发超精密机床也不到达到,第二就是要实现套刻的精度还得提高光刻机掩膜台的高精度定位,所以最终的精度还得再提到套刻精度的1/3,也就实际的精度为13纳米,设备的精度与制程的精度相差整整15倍。
这次我从计量院搞到了精度在10纳米左右的超高精度的激光干涉仪设计方案,只要我们能将设计变为现实,这光刻机就指日可待了!”赵小匠道。
“搞了半天,咱们又回到了开发仪器上。”王曦道。
赵小匠点了点头。
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