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“王姐看来下了不少功夫啊，我也是这个意思，咱们引进5英寸的生产线就是建立在江城有5英寸生产线的底子上，所以刘明元教授的提议我是支持的，具体方案王姐你定一下就好。”赵小匠道。
说起来江城也是国内集成电路公司发展的中心，90年代相继兴建了国内第一条5英寸，6英寸，8英寸的生产线，诞生了国内最知道的芯片公司夏虹，夏芯。
“匠哥，莫非你这次去计量院就是解决光刻机的问题？”王曦反应了过来。
“对了，如果咱们要实现200纳米的光刻机生产，第一要克服33%法则，即光刻机的套刻精度要达到66纳米，这一点即便咱们之前开发超精密机床也不到达到，第二就是要实现套刻的精度还得提高光刻机掩膜台的高精度定位，所以最终的精度还得再提到套刻精度的1/3，也就实际的精度为13纳米，设备的精度与制程的精度相差整整15倍。
这次我从计量院搞到了精度在10纳米左右的超高精度的激光干涉仪设计方案，只要我们能将设计变为现实，这光刻机就指日可待了！”赵小匠道。
“搞了半天，咱们又回到了开发仪器上。”王曦道。
赵小匠点了点头。
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