第一百三十三章:刀具的Lifetime(2/3)

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  真正达到削铁如泥的境界!

  不过,再锋利的刀都有钝化的那一刻,刀具的寿命管控在这个工序尤其重要。

  “如何保证这些刀具使用的质量?”辛佟转过头问道。

  “辛经理,你看到检验员了吗?她们会抽查切割宽度和产品外观,如果发生刀具崩边异常,通过产品检验,我们是可以知道的。”姜华回答道。

  在公共场合,他称呼辛佟为经理,不过私下里,他喜欢喊他老同学。

  辛佟的脸上立刻布满了阴云,很显然这种回答不能令他满意,等到产品出现异常了再去思考换刀具,一大堆不良品都制造出来了,黄花菜都凉了!

  “辛经理,我们会管控刀具的寿命!”谢剑风一边说,一边打开了设备的控制界面。

  “你看,刀具的寿命在这里,切割的次数在这里!当刀具的寿命超期,设备会报警提醒!”谢工指着控制界面说道。

  “谢谢!”辛佟点了点头。

  采用报警提醒功能不错,这种从源头预防的方法才是正确的管控方式!

  “切割道宽度是多少?”用肉眼看上去,切割后的晶圆依旧完整无缺,提到刀具,辛佟忍不住好奇地问道。

  “这把刀能够达到的最小切割线宽度是35微米。”谢工用手指着切割刀说道。

  35微米!难怪切割无痕啊!

  辛佟静静地盯着切割台,很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣,在减薄工序他也看到过这层蓝膜,不过到了切割工序,蓝膜是固定在一个金属钢圈上。

  “非常有意思,晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上!”辛佟说道。

  “这层Tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤,切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上,钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。

  “噢!”辛佟点了点头。

  他静静地看着晶圆切割,除了金庸的武侠小说,他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀!

  这真是一把惊世好刀!

  大开眼界了!

  冷静思考了一下,对于一刀切他还是充满了疑问,担心切割应力会造成晶圆崩边:“谢工,我们减薄后的晶圆厚度还有150微米,一刀切到底是否合理?”

  “辛经理,实践经验告诉我们一刀切问题不大,-当然现在有切两刀的工艺,叫阶梯切割(StepCut),用两把刀片完成对晶圆的切割,切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。

 

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