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“抛光的时候，下盘在电动机的带动下转动，粘有硅片的平板可绕本身的轴转动，保证了抛光的均匀。
从下盘的中-央注入抛光液，也是我们研发的自主专利技术产品，抛光液可以在离心力作用下向周围散开。
在抛光过程中，旁边的测温仪会精准控制盘温，在摩擦产生的热量的促进下，抛光液中的OH-根使硅片表面氧化
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