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光刻机是工业皇冠上面最闪亮的一颗明珠——毕竟会自己发光。
只不过，这颗明珠的技术和各种部件的科技程度很高，但是这颗明珠的设备运行原理其实，比较简单。
首先是最核心的光刻机光源部件。
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