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沈钟顿时得意了,这自己都懂啊,无压力。
“下一个步骤……”
“曝光,光刻!”程旭还没开口呢,几个人就喊开了,可惜,这次错了。
程旭看着这些人的工作气氛,心里也是十分舒服——这些人闹归闹,做事儿还是非常严谨认真的。
“下一个步骤,跟半导体芯片的生产过程就完全不同了。”
程旭这话一出,一群人顿时安静下来,屏气凝神的听着:“我们没有光刻过程,电路也不是刻画在晶圆片上的。
“而是用场刻仪这个设备,通过调节不同狭域内的场强度来刻画到胶体上,整个过程持续的时间要比光刻过程长。
“你们都知道,光刻过程,现在的DUV光刻机一般十二秒,而场刻映射这个过程,每一次参数调节需要持续八秒。
“但每一次生产过程,都需要若干次的参数调节,具体几次,怎么调节,需要根据机器的反馈,而这整体过程下来大约需要五分钟左右的时间。
“当然,这是目前手动半自动的这个版本,以后肯定会更新改进,全自动程旭的话,那速度就能立即提上来。
“而场刻过程之后呢,我们就需要利用升高温度的方式来进行一次微烘烤……然后切割……脱板……二次升温培育处理……”
……
实验室的九个人一丝不苟的记录着每一个步骤,并暗自在考虑,这些个生产过程怎么与自动化工具EDA相结合,怎么与先期的芯片设计工作相结合。
而原本还有些得意的沈钟这个时候则是傻了眼,刚刚还全都懂呢,这一会儿自己就完全懵逼了——这都哪儿跟哪儿啊!
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