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曝光系统，这可是光刻机核心中的核心啊，曝光系统还有问题，就敢喊“明年交付”？
“哎！”程旭叹了口气，瞬间想到了什么，也有些理解，这其中应该还有一些战略目的。
“是光学问题，还是系统问题？”程旭接着问道。
光学问题，就是超精密光学技术了，其中包括光源、掩膜板（台）、透镜等很多部分。
系统问题，那就涉及超精密光机系统协同、驱动控制、信息处理等多个模块。
“这两个问题其实可以归结为一个问题。”
来之前，赵辉已经获得授权，拿到了所有的资料，就是为了给程旭做考察之前的介绍：
“光学系统的精度不够，本身是硬件问题。国科精密已经做到极限了，还是满足不了28nm光刻机的需求。就现在，他们的人员还在不断的尝试攻克这一问题。
“而我们，也在尝试，通过更智能的系统来解决这一问题，计算机辅助、物镜光路智能跟进优化等，效果也不好。”
也正因如此，沪微对程旭十分重视，哪怕他还是只是一个学生——甚至还专门在公司内寻找到了他的同乡，赵辉来接待。
因为他们知道，更强大的智能手段是能解决这个问题。而“言心”的一夜蜕变更是证明了程旭的实力。
而程旭，后槽牙都快咬断了——他的目标可不是28nm光刻机，而是7nm的制程工艺啊！这下还怎么搞！
尤其是调研了试产产线和看到了试产芯片效果的时候，程旭更是久久无言。
一个按照28nm级别打造的设备，现在试产40nm，堪堪达标。
试产28nm，良率，就别叫良率了吧，整片8寸晶圆，就没产出几块儿能用的芯片。
更不用说套刻14，套刻7nm了。要知道，DUV光刻机的极限套刻精度是啊！
当然，成本奇高，不会有真正产线这么干就是了。
但，台积电用DUV量产了7nm的芯片，这是实打实可以做到的。
这也是程旭敢说7nm的根源所在，但现在……
七天，程旭整整在样机产线钻研了七天，一直摇头叹息外加不断感叹，但硬件本身不达标，又能怎么办呢？
“怎么？有困难？”赵辉一路陪同，安慰道：
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