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与此同时。
火炬实验室,地下测试中心。
自从一个月前亲眼见证了宏观负折射透镜的存在之后,张汝宁研究团队的工作方向就发生了根本性的变化。
出于最严格的保密要求,长光集团本部在表面上一切如常,ArF-1800项目仍在按原有折反式路线推进。
然而实际上,那些厚厚的、凝结了无数心血的设计手册,已被悄然锁进了最深的档案柜。
张汝宁本人则带领一批最核心、最可靠的技术骨干,直接搬到了京城开展工作。
这一次,火炬实验室非常慷慨地借出了一部分空间,以便与长光项目团队紧密协作。
之前不让连海化物所那边派人过来,就是因为不想泄露负折射材料的秘密。
而对于张汝宁,自然不存在这方面的顾虑。
毕竟人家本来就是光刻系统的核心设计人员。
不过,协作归协作。
区区一个月的时间,倒是还不够两边搞出什么大新闻来——
负折射材料的存在确实简化了物镜系统内部的光路分布,但对于每一组透射/反射元件本身而言,需要关注的部分反而变多了。
而且,Ga-Ge(0001)的制造和成片本来就困难,而透镜组又不可能只包含平面镜。
如何把这种新玩意弄成曲面镜,也耗费了常浩南和栗亚波不少精力。
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